二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293769272 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是一种掩模和晶圆检测设备，用于检测可能损害集成电路电气性能的微观缺陷。这个先进的系统使用精密的光学器件目视检查掩模或晶片的整个表面，以尽可能高的分辨率搜索缺陷。KLA Surfscan SP2配备了一套全面的检测技术。这包括光学缺陷检测、临界尺寸扫描、标线残留检测以及连接检测。它的检查速度高达每小时15个晶圆，并提供分辨率高达0.0014微米的精确数据。SP2单元采用先进的物镜，具有创新的五位机制，消除图像失真。它还配备了多维可选的字母数字能力，能够快速准确地识别和拒绝被污染或划伤的晶片。TENCOR SURFSCAN SP 2包含一个易于使用的图形用户界面，允许操作员快速选择参数，并为每个作业定制机器。自动化功能还可以简化操作,减少设置所花费的时间,并减少人为错误的可能性。该工具生成的详细数据可以导入到可选的SurfStat数据分析包中,从而使用户能够快速准确地识别和排除微观缺陷。此资产非常准确和灵活,非常适合质量控制和其他过程管理应用。KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2是一种用于掩模和晶圆检测的高度先进的技术，使其成为要求最苛刻的应用程序的首选。出色的可见性和分辨率,再加上易于操作和数据管理,使模型成为缺陷分析和预防性维护的理想工具。