二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293807608 待售
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ID: 293807608
Inspection system
Throughput: <37 nm
UV Laser
Modes:
Standard throughput
High sensitivity
Oblique illumination
Equipped with powder coat painted panel
PHOENIX Dual FIMS Vacuum wafer handler, 12"
Power inlet
Optical filter
XY Coordinates
Edge exclusion, 2 mm
IDM
4-Color light tower (Red, Yellow, Green, Blue)
XY Calibration wafer, 12"
Dryer
Operating system: Windows XP.
KLA/TENCOR Surfscan SP2是专门为晶圆制造和半导体器件制造工艺设计的掩模和晶圆检测设备。这种先进的系统允许制造商在晶片制造或设备制造过程中以高吞吐量严格检查掩模和晶片,并检测微观缺陷。KLA Surfscan SP2具有明场和暗场成像技术,使其能够检测到晶片上存在的最小缺陷。这些缺陷的范围从针孔、划痕和颗粒到突起、痕迹和变形。此外,该装置还可以检测晶片上的其他不规则性,如异物堆积、污渍和蚀刻前损坏区域。机器还包括一个专门的图像分析功能,允许制造商识别和分类检测到的缺陷具有很高的准确度。TENCOR SURFSCAN SP 2配备了直观的用户界面,使操作员更容易管理操作。该设备有一个21英寸的大型高清触摸屏面板,旨在帮助用户轻松配置检查参数。刀具的接触位置精度非常好,分辨率为0.5 μ m,即使是最小的模具尺寸也适合检查。TENCOR Surfscan SP2也非常可靠,因为它配备了最新的节能技术。资产通过在使用后自动关闭备用状态,然后仅在必要时重新启动来实现此目的。这有助于制造商降低能源成本,并延长模型的使用寿命。该设备还适用于广泛的应用,符合SEMI质量体系标准。Surfscan SP2是制造商的理想选择,他们希望以高精度检查其晶片和掩码,同时降低能耗。该设备的高性能使其成为制造商寻找可靠高效的机器来检查其晶片和掩模的理想选择。
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