二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293814035 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是一种基于全场光学临界尺寸（CD） SEM的掩模和晶片检测设备。它是为自动检查前端面膜和晶片而开发的一个紧凑且无维护的系统。KLA Surfscan SP2配备了一个精密的成像单元，能够生成即使是最复杂的掩模和晶圆结构的高质量图像。本机由单色场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）、低温标本级和用于精确定位标本的电动XYZ级组成。FE-SEM的工作分辨率为0.2nm,可以检测小至4nm的结构。其集成的自动化测量和分析软件使用户能够从各层获取信息，这有助于评估样品质量。此外，TENCOR SURFSCAN SP2提供了对光束电流和冷却工具的精确控制，以保护样品免受损坏。Surfscan SP2还有一个直观的用户界面，可以让用户快速轻松地设置并开始检查，而无需参考手册。此外,资产还提供可靠性和可重复性能,以确保结果的准确性。此外,TENCOR Surfscan SP2还提供了一个快速可靠的检测样品的过程。利用自动聚焦反馈回路，可以快速调整焦点，获得准确的结果。设备提供了各种各样的扩展,包括缺陷审查、数据导出、审查数据库管理和过程控制。KLA SURFSCAN SP 2是掩模检查、晶圆评审、电路布局验证、光刻模拟、迭加分析、过程控制、故障分析等广泛半导体应用的理想选择。它支持PDK、BiCMOS和DRAM等不同技术，可用于检查多层结构。该系统能够集成AutoAdjust,这是一个功能强大的基于规则的工具,用于自动特征测量和缺陷报告。而且，它也可以用于缺陷分类和晶圆计量。总体而言，SURFSCAN SP 2是一个可靠、高效的掩模和晶圆检测单元，能够执行最复杂的分析。其先进的特性和能力使其成为所有半导体行业的理想选择。