二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9240763 待售
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ID: 9240763
晶圆大小: 12"
Particle measurement system, 12"
Operating system: Windows XP SP3
Carrier:
Phx, SHINKO (Load port)
(8) User-configurable LEDs to display load port status
Load / Unload button for manual delivery hand-off
Cassette / Wafer mapping
Chamber:
Powder coat panels kit
Vacuum option: 200/300mm
Load port vacuum: 12" Dual FIMS
Hardware:
5-Color light tower (RBYGW)
Ethernet
E84 Enabled for OHT and AGV/RGV
GEM/SECS and HSMS
Handler secondary UI, Phoenix, SP2
Main computer:
Intel®Xeon™ CPU 3.20 GHz
Memory: 3.5 GB RAM
DVD- ROM
Mouse
Keyboard
Floppy, 3.5"
FEC Computer:
Intel®Pentium®4 CPU
512 MB RAM Memory
Applications:
Oblique incidence illumination (High / Standard / Low)
Normal incidence illumination (High / Standard / Low)
Enhanced XY coordinates
Standard classification package
LPD-N Classification
LPD-ES Classification
High sensitivity inspect mode
High throughput inspect mode
Options:
Haze
IC / OEM Mfg surf quality recipe
Facilities:
Power: 208 VAC, 3 W-N
CDA: >28.3 Nl/min, >6.6791 kg/cm²
Vac: >28.317 l/min, >-700 mm Hg.
KLA/TENCOR Surfscan SP2是一种掩模和晶片检查设备，用于检测和纠正掩模和晶片上的不需要的缺陷。KLA Surfscan SP2使用光学、电气和机械元件来检测和纠正各种晶圆类型的缺陷。光学检查包括明场和暗场成像，以准确检测任何缺陷。电气特性利用接触法和非接触法测量电阻、电容和电流等电性能。机械特性允许TENCOR SURFSCAN SP 2在检查晶片时改变方向进行精确的运动和调整。KLA/TENCOR SURFSCAN SP2具有聚焦变化和图像处理等集成技术，用于检测晶圆，识别和定位潜在缺陷。焦点变化提供了晶圆的三维视图，使系统能够精确检测亚微米缺陷。成像子系统使用精确和高分辨率的CCD相机来捕捉晶圆的图像，以便进一步分析。KLA SURFSCAN SP 2还具有高级软件，用于分析每次检查的数据，并以易于阅读的格式显示结果。软件有一系列工具，允许用户过滤和识别晶圆上存在的特定缺陷。该单元还具有内置的自动调度功能，可用于设置对不同晶圆类型和运行的定期检查。此外,Surfscan SP2的设计考虑到了方便和安全。它配备了易于设置和使用的自动化机器。该工具高度可定制,允许用户根据其特定要求调整参数。该资产还配备了几个安全功能，如钥匙锁和紧急停止开关，以确保安全的操作环境。总体而言,TENCOR Surfscan SP2是一个通用的模型,旨在检查晶片并检测和纠正任何有害的缺陷。该设备配有光学、电气和机械部件，能够精确检测各种晶圆类型的亚微米缺陷。高级软件还允许用户过滤和分析数据以快速识别缺陷。SURFSCAN SP2具有自动化特性和安全特性,提供了高效、安全的掩模和晶圆检测系统。
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