二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9260809 待售
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已售出
ID: 9260809
Inspection system, 12"
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(1) / 0235019-000 / Laser head, UV, 355 nm, 350 mW, T sesam mo
(1) / 0094103-001 / FRU, DC Module assembly, PDU, SP2
(1) / 0261763-000 / Module, data acquisition, USB, MINILAB Ribbon
(1) / 0354464-000 / PCB Assembly PHX E84 4-ports
(1) / 0501328-000 / Front end controller kit
(1) / 0305125-000 / KIT, REV E Controller and cables, YASKAWA NXC100
(1) / 0259855-000 / FRU, L1A, L1B L1-L2 Assembly, EC, SP2
(1) / 0253452-002 / FRU, Attenuator assembly half-wave, EC, SP2
(1) / 0253457-000 / FRU, Fold mirror, 90°, incident, EC, SP2
(1) / 0333668-000 / PS With diode, UV Laser, J40 355 mW hybrid
(1) / 0253311-000 / Assembly, SERVO Mirror, SAPPHIRE, BSS, EC, SP2
(1) / 0216827-000 / PCB Assembly, GALIL M, configured, SP2
(2) / 0094104-000 / FRU, PCB Assembly, proc 3, INTRF 2, 8 x 512M, SP2
(2) / 0202919-002 / FRU, HD and Carrier, IDE 500GB configuration 1.0, SP
(2) / 0253456-000 / FRU, Mirror, Pick-Off, QC1, EC, SP2
(1) / 0023892-000 / Chuck, 8"/12", vacuum, SP1
(1) / 0123546-000 / Fan filter HI capacity, SP2
(1) / 0214551-001 / FRU, PMT Assembly, single, dark field, SP2
(1) / 0094100-000 / FRU, Assembly, fast laser shutter, SP2
(1) / 0214544-001 / FRU, Shutter assembly, laser, beam steering, SP2
(1) / 0253458-001 / FRU, Rotator assembly, half-wave, EC, SP2
(1) / 0253755-001 / FRU, BSC Assembly, NRML/OBL CHNL, EC, SP2
(1) / 0065575-000 / CBL, MTR DR Board to MSK CH Distribution board
(1) / 0128468-000 / Assembly, NODE, CPU, ISO port
(1) / 0354464-000 / PCB Assembly PHX E84 4-Ports
2004 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2是一款功能齐全的自动掩模和晶圆检测设备。它可以进行多种不同类型的掩模和晶片检验，包括缺陷检验和鉴定。该系统能够检查从模具到全晶片的各种晶片尺寸。它既灵活又可扩展,允许用户根据自己的确切需求定制设备。KLA Surfscan SP2利用KLA专有的Brightfield、Darkfield和Contrast Inspection技术来实现当今可用的最高级别缺陷检测。这项先进技术使机器能够检测到小至0.1um的缺陷。该工具提供了各种对比度模式的选择，使其能够区分不同的缺陷类型以及识别模式化较弱的区域。资产使用两项《防治荒漠化公约》运作；5.6百万像素现场摄像机和1280 x 800百万像素晶圆摄像机。现场照相机用于检查掩模,而晶圆照相机用于检查晶圆。两种CCD的结合，加上TENCOR专有的检测算法，使得模型能够快速准确地检测整个晶圆的缺陷。TENCOR SURFSCAN SP 2还配备了晶圆蓝色对准设备，确保晶圆和掩模在检查过程中精确对准。此外，系统还具有可调的检查参数，允许用户根据自己的具体需要量身定制检查。KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2还提供板载数据捕获功能。这允许用户捕获和查看检查数据以进行进一步分析。此外,该设备还具有高速处理机,使刀具处理数据的速度比竞争对手的系统快5倍。Surfscan SP2是一种先进的自动化掩码和晶片检查资产,它提供了用于掩码和晶片缺陷检测和鉴定的强大功能。凭借其560万像素的现场摄像头、1280 x 800像素的晶圆摄像头、可调的检测参数以及车载数据捕获能力，提供了无与伦比的灵活性和性能水平。TENCOR Surfscan SP2是高容量、高产缺陷检测的理想模型。
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