二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9308728 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2 Mask and Wafer Inspection Equipment是一种在半导体制造过程中检测mask和wafer的高性能、经济高效的解决方桉。KLA Surfscan SP2采用市场领先的图像采集和检查算法,可确保产品的准确性和质量。利用全套高级集成工具,TENCOR SURFSCAN SP 2支持模对数据库测量、产量分析、布局审查和缺陷分析。该系统包括具有双光源的大型高分辨率区域扫描传感器、分布式对象架构、自动特征识别、专家用户创建的检测系统、缺陷分类、智能缺陷打印。KLA SURFSCAN SP 2的分布式对象体系结构使配置复杂的单元参数、管理与关联设备的通信以及扩展机器功能以包括第三方组件变得容易。自动特征识别由内置模板匹配引擎启用,该引擎可以识别关键特征,然后对正确的特征放置、方向、星爆参数和结构分析进行检查。由用户创建的专家检测系统提供快速、一致和可靠的过程监控。KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2还提供了具有层次统计库的综合缺陷分类层次结构，将沉积残留或颗粒等非固有特征上的缺陷与上游源缺陷联系起来。该工具的自动晶圆映射和图像回放功能促进了高效的在线或过程后分析以及对感兴趣的缺陷的隔离。智能缺陷打印使得在各种喷墨和激光打印机介质上获得高对比度缺陷图像成为可能。其他功能,如图像稳定、自动边缘检测、图像堆迭、智能缩放和图像迭加,提供了更高的资产能力和最大化的检查精度。Surfscan SP2还在Windows、Linux、UNIX和Sun Solaris操作系统等多种环境中提供流程管理报告。总体而言,SURFSCAN SP 2掩模和晶圆检验模型是一种用于阵列薄膜研究生产应用的高度可靠且经济高效的解决方桉。TENCOR Surfscan SP2凭借其先进的集成工具、用户创建的专家检测系统、完美无瑕的图像准确性以及在线或后处理分析,是任何阵列薄膜制造过程中真正强大的解决方桉。