二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9398740 待售
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ID: 9398740
优质的: 2011
Inspection system
Semi notch, 12"
Carrier:
(3) Load ports:
Phx
SHINKO
8-Configurable LED to display load ports
Load/unload button: Manual
Wafer cassette mapping: FOUP, 12"
Empty slots and cross slotted wafer
Vacuum load port: FIMS, 12"
Light tower (RBYGW)
Facilities:
CDA: > 28.3 NL/min, > 6.6791 kg/cm2
VAC: > 28.317 l/min, > -700 mm Hg
Edge exclusion, 2 mm
Oblique incidence illumination (High / Standard / Low)
Normal incidence illumination (Standard / Low)
XY Co-ordinates
IDM SP2
Standard classification package
LPD-N Classification
LPD-ES Classification
Grading and sorting
Spatial filter: 20°
Spatial filter: 40°
Spatial filter (Rough films)
Spatial filter (Back)
High sensitivity inspect mode
High throughput inspect mode
Haze
Haze normalization
Haze analysis
IC/OEM
Ethernet:
NFS Client
E84 enabled for OHT and AGV/RGV
E87 (Based on E39)
GEM/SECS and HSMS
E40 / E94 / E90 / E116
Main computer:
Intel Xeon CPU 3.20GHz
RAM: 3.5 GB
DVD-ROM
Mouse
Keyboard
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
FEC Computer:
CPU: Intel Pentium 4
RAM: 512 MB
Operating system: Windows XP SP3
Power supply: 208 VAC, 3 W-N
2011 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2是一款最先进的掩码和晶圆检测设备，开发用于提供自动网表模式识别和缺陷管理应用中的最高性能级别。它提供了对表面条件和缺陷检测的全面控制，能够监测晶片的整体存在和检测轮廓的细微变化，包括微石和粒子干扰的存在和特性。通过结合先进的光学系统和创新的图像处理技术，KLA Surfscan SP2使用户能够检查模式、检测缺陷、识别非均匀性，并对异常进行分类以表征表面条件。TENCOR SURFSCAN SP 2是一个专门为支持苛刻的工业半导体应用而设计的检测系统，因为它支持高吞吐量，并对单个和多个晶片提供快速、准确的分析。它配备了多种高级功能,例如多级成像、二值化、形状分析,以及选择自定义光学滤镜以增强图像清晰度和字符识别的能力。这些滤波器可用于检测晶片上非常小的模式,扫描缺陷和不规则性,并且可针对不断变化的环境进行调整。该设备还提供高级的顶级质量控制功能,能够有选择地测量、检测和校正任何表面参数,以确保晶圆的正确沉积、掩蔽和抵抗轮廓。机器可以扫描和检查由多种材料组成的晶片，包括玻璃、铝、硅和石英。其集成的5轴运动控制工具能够将样品精确定位在舞台上，直接扫描到设备上，减少对准误差和可能导致材料或产品缺陷的人为误差。该资产还提供自动晶圆映射,存储每个晶圆的详细信息,并通过内置内存和缓冲区提供各种级别的分析,使其他应用程序能够快速检索数据。此外,该模型的自动缺陷检测算法能够检测到人眼无法看到的过小故障,使其成为在进入市场之前快速识别和清除产品缺陷的高效而有力的工具。这使制造商能够优化其生产过程,确保其产品符合高质量标准。此外,其用户友好的界面和直观的软件提供对检查功能的完全控制,以快速查看、分析和校正检查数据。综上所述，TENCOR Surfscan SP2是一种先进、综合的面膜、晶圆检测和缺陷管理设备。它提供快速扫描、准确分析和对表面条件的广泛控制,使用户能够快速高效地有效地检测和消除产品中的故障。
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