二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293594322 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP3是一款先进的掩模和晶圆检测设备，旨在提供高分辨率、高速的半导体缺陷检测和分类。该系统以KLA专利反射成像技术为基础，针对半导体生产的迫切需求量身定制。SP3强大的硅片和平板屏蔽检测能力使晶片步进器和模式发生器能够生产出质量和可靠性极佳的产品。该装置以无与伦比的灵敏度、准确性和柔韧性对掩模和晶片进行高级检查。KLA Surfscan SP3结合了强大的图像采集、图像处理和缺陷分类功能。该机器采用了一系列先进的图像采集技术,如"四重"和"还原变化",可实现高缺陷分辨率和高级表面成像。TENCOR Surfscan SP3还具有高分辨率光学元件、高像素密度和无死区,这要归功于均匀的像素位置。Surfscan SP3还具有多种功能强大的检测算法和交互式分析工具。高级算法允许精确分析,而交互式工具集允许用户快速修改、自定义和验证检查结果。KLA/TENCOR Surfscan SP3旨在支持多种用户配置，包括单用户设置和更大的多用户网络。该工具还可与其他系统集成，以提高效率和生产力。KLA Surfscan SP3配备了多项高级晶圆控制功能，进一步启用了高端性能。资产包括精确阶段和转换半标线调整以进行精确测量和调整，以及一份高级批量进度报告，以加强对质量保证的控制。该模型还包括高速可重复性的自动模式匹配、提高晶圆平整度的自动变形校正，以及具有卓越重复性和成本效益的专用激光源。最后,TENCOR Surfscan SP3具有基于Web的GUI,允许用户轻松控制检查顺序并查看结果。GUI还为用户提供了前所未有的设备功能、设置和报告访问权限。强大的报告套件使用户能够快速访问有关系统性能的信息和见解,从而使Surfscan SP3成为用于掩码和晶圆检查的强大而高效的工具。