二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293619782 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP3是一种顶级的自动化掩码和晶圆检测设备。它旨在减少缺陷检测时间，并集成到制造过程中，以防止缺陷被送到生产。系统配有广角高解析度相机，提供掩模或晶圆的全场视图。它与一个自动高速步进器相结合，可以精确扫描工件的每个区域。摄像机拍摄每个区域的多个图像,分析它们的缺陷并跟踪设备数据库中的结果。软件算法与已知缺陷进行比较，并提供实时检查报告。SP3机器包括一种专利光束检测技术，可以检测15纳米以下的纳米级缺陷。这项技术放大了掩模或晶片的图像，以便进行更详细的检查，并提高结果的准确性。该工具还提供了灵活的缺陷分类设置,允许用户设置自己的缺陷分类标准,如缺陷大小、方向以及不同类型缺陷的组合。资产配备了直观的图形用户界面,可快速访问软件设置,从而允许用户根据需要快速调整设置。它还提供自动校准和校准验证，以减少检查时间并确保准确性。该模型符合EUV、OPC、IR/NIR和SARBD等各种协议。KLA Surfscan SP3设备的设计符合SEMI、ITRS和EUV等各种行业标准，使其适合生产半导体器件和光电元件。该系统易于维护，能够快速维护和维修，以保持生产平稳运行。该股有经验丰富的技术支助人员作为后盾，可以根据需要提供实时援助。