二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293645338 待售

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ID: 293645338
优质的: 2012
Inspection system 2012 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP3是一款功能强大的掩模和晶片检测设备,旨在为广泛行业的掩模和晶片提供高精度和高速的检测。它是识别先进制造工艺中镜片和其他部件纳米级缺陷的有效工具。它也被用于半导体工业。KLA Surfscan SP3采用60 cm的扫描场,允许对300 mm的半导体模具进行成像。系统具有一微米像素分辨率,超过行业最高标准,动态范围为1-120 dB。使用高级算法,TENCOR Surfscan SP3可以在几秒钟内检测明暗缺陷。此外,它坚固的光学单元还配备了多个探测器和光源,以确保最大性能、景深和场均匀性。在软件方面,Surfscan SP3具有先进的操作机器和功能强大、经济高效的流程自动化工具。它使用True Scan Disparity Analysis (TSDA)工具自动检测、测量和分类缺陷。此外,KLA/TENCOR Surfscan SP3还包括一个包含预定义的检查参数和报告功能的综合库,可轻松适应客户的特定需求。KLA Surfscan SP3的创新硬件和软件功能使客户能够实时监控流程趋势,从而避免了代价高昂的延误。最后,直观且易于配置的图形用户界面使控制和管理生产运行变得直观而简单。TENCOR Surfscan SP3是面罩和晶片检测领域的最新技术,以具有竞争力的价格提供可靠、准确的性能。凭借其非凡的光学和尖端算法,它是高端半导体和微电子行业的宝贵工具。这种用途广泛、成本效益高的检查资产非常适合任何洁净室设置,为检测和分类集成电路生产过程中的缺陷提供了一种高效可靠的方法。
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