二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293650551 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP3是一种自动化的掩模和晶圆检测设备。它提供快速扩展的生产能力,包括低成本和高性能选项。KLA Surfscan SP3旨在简化掩码和晶片检查的各个方面,从高级缺陷审查到全面的数据管理。该系统具有多种特点，能够在半导体制造设施中进行可靠和一致的检查。TENCOR Surfscan SP3通过各种光学器件提供了先进的成像技术,使设备能够检测到各种微粒、缺陷和其他细节,这些细节的尺寸非常小。该机器还包括一系列可重复和可定制的光学模块，用户可以根据其特定应用程序的需求定制该工具。资产采用自动图像分析算法，以最大限度地提高准确性，并消除检查过程中的人为偏差或错误。这确保了一致、公正的结果,并最大限度地减少了手动审查的需要。除了高级光学之外,Surfscan SP3还具有几个用于数据管理、过程控制和示例管理的模块。该模型的数据采集模块允许组织和检索库数据以进行自动审查和分析,以及详细的摄像机校准和审查。Coordinates Database模块通过跟踪布局和工作现场信息,确保对整个晶圆进行准确测量。最后,KLA/TENCOR Surfscan SP3的示例管理模块使跨多个用户和多个设备跟踪和管理数据变得更加容易。该设备还拥有若干先进算法，以确保检查结果尽可能高的准确性和可靠性。例如,"掩码几何和边缘检测"算法允许检测多个图像之间的变化。Sub Layout验证算法是一种独特的功能,它可以检测芯片上的对齐和定位方面的潜在问题。LED特征检测算法可以进一步帮助通过正常检测方法发现可能难以检测到的关键缺陷。KLA Surfscan SP3是半导体制造环境中质量控制不可或缺的工具。该系统具有高精度的成像、自动化的数据管理和强大的算法,专为半导体制造的快节奏环境而设计。对于任何希望提高质量控制和检验能力的半导体生产设施来说,这是一个理想的选择。