二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3+ #293776121 待售
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ID: 293776121
晶圆大小: 12"
优质的: 2014
Inspection system, 12"
PHOENIX 2.0 TFIMS Handler
(3) SHINKO Load ports
KAWASAKI NX500 Robot controller
Illumination: Oblique, Normal
Purge module
Interlock board
LON Node
Galil controller
(2) BSS Module
IMC Server rack
IMC Computer
IMC Monitor
IMC Data cable
Stage
Image computer
Hard Disk Drive (HDD) Missing
2014 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP3是一种用于半导体电路自动检测的掩模和晶圆检测设备。该系统在其自动掩码和晶圆检查工作流程中集成了高级光学计量、缺陷识别和缺陷分类功能。光学缺陷审查过程利用激光显微镜、激光散射法、化学蚀刻等多种成像技术，结合先进的自动化算法技术，准确识别缺陷并正确分类。该单元容量大，使其能够每小时检查多达40,000个晶圆模具。该机还提供了全面的图像审查和分类功能。这些功能允许用户查看缺陷的高分辨率图像,并根据大小、形状、位置和其他特征对其进行分类,从而允许操作员快速识别缺陷并确定如何解决这些缺陷。还包括一个集成缺陷分类引擎，允许操作员自动分配缺陷类。该工具构建在高性能FPGA平台上,与几个不同的行业标准缺陷数据库兼容。它具有大量的高级功能,使用户能够根据自己的特定需求自定义检查过程。该资产旨在减少错误警报并及时提供准确的结果。从安全角度看，KLA Surfscan SP3车型的设计符合最新的安全规定，包括欧盟的RoHS和WEEE指令。该设备已通过认证,符合适用的安全法规,并有完整的七年产品保修作为后盾。总体而言，TENCOR Surfscan SP3是一个先进的掩码和晶圆检测系统，在自动化、高性能的平台中结合了光学计量、缺陷识别和缺陷分类功能。凭借其全面的特点，该单元可用于快速准确地识别缺陷并对其进行分类，以实现最高效的修复和避免过程。
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