二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293806349 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP3是一种用于半导体制造过程的掩模和晶圆检测设备。它是一种高度先进的工具，能够检测像素级的模式缺陷，准确率超过传统的检查技术。KLA Surfscan SP3的主要技术是接触和接近成像。接触成像涉及使用机械扫描的扫描仪，其形式为安装在系统壁上的类似触手的光学臂。此臂能够在晶片上进行物理移动并对其进行详细成像。另一方面，邻近成像的工作原理是测量晶圆上的电路模式所发出的电场。这种方法在检测高模式密度的大型晶片时特别有用。设备的内置算法允许它高速检查晶圆和掩码。它捕获的图像被送入TENCOR Surfscan SP3的内置缺陷检测软件，该软件采用先进算法比常规检测技术更准确、快速地识别缺陷。此外,Surfscan SP3还具有一套广泛的功能,旨在增强可用性。这包括一个用户友好、直观的图形用户界面,它允许轻松导航和访问各种检查选项和晶圆数据。机器还设有一个大型的预定义配方库，用于频繁检查的晶圆类型，可以在几秒钟内加载和调整，提高效率，减少操作员疲劳。KLA/TENCOR Surfscan SP3是一款高度先进、可靠且易于使用的检测工具。它拥有令人难以置信的速度和准确性，同时提供用户友好的体验。这使半导体制造专业人员能够快速、可靠地准确地检查晶片和掩码,从而大大提高制造过程效率,同时检测可能不会被注意到的缺陷。