二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #9364671 待售
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已售出
ID: 9364671
晶圆大小: 12"
优质的: 2014
Particle measurement system, 12"
Scan module
Image Computer (IMC)
Heat exhaust blower
Normal and oblique scan
Partial dual scan (Secondly inspection region)
SURF Monitor
Fluorescence optical filter
Spatial filters: 20°-40°
Environmental optics (COE) kit
Cool white panels
(3) Vacuum chucks: Triple FIMS handler, 12"
Options:
Oblique incident
ST Mode
Edge exclusion area, 2 mm
Defect classification functions:
Slipline
Scratch
Cluster
LPD-N
LPD-ES
RBB
Part number / Options
0274498-000 / Normal incident
0274501-000 / HT Mode
0274499-000 / HS Mode
0262045-000 / Large Particle Mode (LPM)
0395928-000 / Custom film generator
0302187-000 / Silica wafer set, 12"
0016628-000 / XY Coordinate standard wafer, 12"
0356234-000 / SP3 Haze normalization wafer, 12"
2014 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP3是一种用于半导体电路自动检测的掩模和晶圆检测设备。该系统在其自动掩码和晶圆检查工作流程中集成了高级光学计量、缺陷识别和缺陷分类功能。光学缺陷审查过程利用激光显微镜、激光散射法、化学蚀刻等多种成像技术，结合先进的自动化算法技术，准确识别缺陷并正确分类。该单元容量大，使其能够每小时检查多达40,000个晶圆模具。该机还提供了全面的图像审查和分类功能。这些功能允许用户查看缺陷的高分辨率图像,并根据大小、形状、位置和其他特征对其进行分类,从而允许操作员快速识别缺陷并确定如何解决这些缺陷。还包括一个集成缺陷分类引擎，允许操作员自动分配缺陷类。该工具构建在高性能FPGA平台上,与几个不同的行业标准缺陷数据库兼容。它具有大量的高级功能,使用户能够根据自己的特定需求自定义检查过程。该资产旨在减少错误警报并及时提供准确的结果。从安全角度看，KLA Surfscan SP3车型的设计符合最新的安全规定，包括欧盟的RoHS和WEEE指令。该设备已通过认证,符合适用的安全法规,并有完整的七年产品保修作为后盾。总体而言，TENCOR Surfscan SP3是一个先进的掩码和晶圆检测系统，在自动化、高性能的平台中结合了光学计量、缺陷识别和缺陷分类功能。凭借其全面的特点，该单元可用于快速准确地识别缺陷并对其进行分类，以实现最高效的修复和避免过程。
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