二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #9383537 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP3是一种自动化晶圆和掩模检测设备，旨在提高整个半导体制造过程的吞吐量。该系统具有先进的功能，可最大限度地提高晶圆吞吐量，最大限度地减少产量损失，并提供前所未有的精度和精确度。KLA Surfscan SP3利用Adaptive Intrafield Autofocus和高清图像捕获技术,实现了区域到边缘扫描的前所未有的准确性和可重复性。利用高端光学设备和电动舞台,TENCOR Surfscan SP3可在整个掩模或晶圆上连续捕获每个视场的多个图像。使用专有的子像素聚焦算法，该单元可以轻松地在多个视场之间切换，而无需重新聚焦。进一步利用扫描能力，利用机器的溷合再确认功能，实现快速准确的缺陷检测和分类。除了高级成像和扫描功能外,Surfscan SP3的多级边缘验证功能还允许进行详细的边缘检测和测量。通过分析多个图像,该工具在检测缺失的抗蚀剂阵列或晶片迭加时匹配模式以提高精度。KLA/TENCOR Surfscan SP3通过其高分辨率定位和基准标记检测减少了临界尺寸测量中的误差。此功能利用Penta棱镜表将晶片从左到右、从上到下精确精确地移动,从而实现晶片到晶片的精确配准和扫描。此外,KLA Surfscan SP3的智能缺陷映射允许增加晶圆吞吐量,因为它可以快速区分和分类缺陷。由于具有先进的特性和功能,TENCOR Surfscan SP3是同类产品中第一个提供完整缺陷检测能力的资产,从区域到边缘扫描到大小辨别。有了这样一个创新可靠的模型，半导体制造商就可以轻松地将工艺可变性降到最低，降低吞吐量瓶颈，节约成本。