二手 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #9396622 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP3是一种掩模和晶圆检测系统，旨在检测和测量半导体和非半导体基板上的缺陷。结合复杂的图像采集和分析,KLA Surfscan SP3可以通过一次操作检查最多四个类型的样本,从而确保客户能够快速准确地获得缺陷数据。该设备的核心是其光学子系统，其中包括两个精密的摄像头-一个用于精确平面成像的超高分辨率彩色CCD和一个用于更有选择性扫描的5倍高分辨率灰度CCD。集成照明提供自然照明以实现一致的结果,并且一系列自动和手动图像处理选项允许用户根据需要快速调整图像设置。TENCOR Surfscan SP3还配备了用于光敏样品的低背景系统，如显微镜样品，以及用于自动图像捕获和样品在视野中定位的视场取景器。自动化的样本形态处理使设备的功能更加完善,成为成像和检查的综合工具。在数据方面，Surfscan SP3使用功能强大的软件引擎提供复杂的图像分析选项。测量数据可以汇总并分类成多个框架，或者可以使用算法搜索特定的粒子特征或识别纳米级的个别缺陷。此外,该软件还可用于本地或远程存档图像,以便进一步查看和分析。KLA/TENCOR Surfscan SP3的多功能性使其成为最可靠的工具之一,非常适合检测、测量和分析各种掩模和晶片基板上的缺陷。它提供了精度、准确性和可用性，使其成为半导体行业缺陷检测的领先选择。