二手 KLA / TENCOR Terascan SL516-T5 #9276280 待售

KLA/TENCOR Terascan SL516-T5是一种下一代的掩模和晶圆检测设备，提供高度准确可靠的检测结果。它可用于评估晶圆和掩模光刻工艺的完整性。该系统配备了能够提供快速精确对准的镜头，具有0.17微米分辨率和0.80的低数值孔径（NA）值。自动对准机构可确保镜头和舞台完全对准,并提供晶圆或掩模的非常精确的概述。对于需要提高准确性的用户,可选择的高NA高达1.2。KLA Terascan SL516-T5集成了最新的计量技术以实现快速检测速度。扫描速度比以前的系统快60X,从而提高了总体吞吐量。该设备具有手动、半自动或全自动检查功能。自动化技术允许轻松校准和设置,以实现一次最多两个晶片的自动扫描。手动检查允许用户进行详细和高度具体的检查，这对于发现罕见缺陷特别有用。总体而言，TENCOR Terascan SL516-T5提供了一种全面、经济高效的晶圆和掩模检测机，适合各种光刻工艺。它的快速、精确的对齐机制和自动化功能能够快速、准确地进行检查,使其成为各级用户寻找快速、可靠的检查工具的绝佳选择。