二手 KLA / TENCOR Terascan SLF576 #9276278 待售

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ID: 9276278
优质的: 2003
Reticle inspection system, 12" Reticle transfer robot Load port (2) Line conditioners UIC UM User console Missing parts: Beam stabilizer Homogenizer Laser head Fork assembly IAF Preamp enclosure (2) Boxster boards UIC1 Power supply 2003 vintage.
KLA/TENCOR Terascan SLF576是为半导体制造应用设计的综合性掩模和晶圆检测设备。该系统包括一个集成的扫描迭加和图像剪接技术,提供高分辨率的3D检查复杂的图桉特征和生产过程的缩放。使用KLA Terascan SLF576,用户可以从多个角度捕获全场图像,以查找掩码上的任何潜在缺陷。设备的扫描迭加和图像剪接技术可确保从多个角度检查掩模的相同区域,而不会导致观测特征的相对位置发生任何偏移。该机器还提供全面的自动化功能,以便用户能够在操作人员干预相对较少的情况下轻松快速地完成对掩模表面的检查。TENCOR Terascan SLF576配备了行业标准的摄像头导航工具,用于手动和自动处理图像信息,允许用户快速查找任何缺陷。在硬件方面,Terascan SLF576围绕无透镜频闪照明工具构建,产生无与伦比的清晰度和细节图像。该资产还配备了分辨率高达1.3 µm的高速、高分辨率CCD摄像头。为了支持检查过程,该模型包括一个功能强大的晶圆对准设备,它使用多种视觉算法来方便精确的叶片放置和定位。结果是掩模上的图样在不同视场之间或不同晶圆位点之间精确匹配。在软件方面,KLA/TENCOR Terascan SLF576采用了多种缺陷检测和图像分析工具,以进一步支持检测过程。这些嵌入式工具使用户能够评估图像的不同方面,如边缘强度、噪声级别和线宽,以便快速识别和隔离任何潜在的缺陷。为了确保卓越的系统性能,KLA Terascan SLF576采用了可热插拔、可现场更换的组件,使用户能够在需要时快速轻松地更换有缺陷的部件。此外,该设备还提供高级实时热成像功能,用于识别热点和测量功耗变量。总体而言,TENCOR Terascan SLF576是解决半导体制造中掩模和晶圆检测需求的绝佳解决方桉。凭借其先进的扫描迭加和图像剪接功能,计算机可以捕获和分析高分辨率3D图像,以快速准确地识别任何潜在缺陷。此外,Terascan SLF576还配备了全面的硬件和嵌入式软件工具,以支持和自动化检查过程。
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