二手 KLA / TENCOR Teron 610 #9291368 待售

KLA/TENCOR Teron 610是一种自动化的掩模和晶圆检测设备，旨在满足行业对光掩模和晶圆进行高级检测和评审的严格要求。该系统利用两个高分辨率ASML 5500成像和投影系统以及一个亮场成像模块来捕获掩模或晶片的高分辨率图像，并将成像投影到基板上进行高精度分析。KLA Teron 610的自动光学检查（AOI）功能使其能够检测缺陷,包括断线、宽度变化和缺少的形状,小至40 nm。图像数据可以直接存储在FTP服务器上，便于传输报告，并将单位的数据与其他质量保证系统集成在一起。TENCOR Teron 610还配备了自动缺陷审查（ADR）功能，使用户能够快速分类、标记和保存缺陷。此外，机器可以检测到背面的模式-移位缺陷，使用户能够识别基板背面的任何不合格模式。该工具有两个视频显微镜站，最多可捕获八个图像，以便对给定模式进行详细分析。该资产还提供了高级模式识别，使其能够检测到其他系统会遗漏的细微缺陷。它利用高分辨率成像来捕捉曾经超出自动光学和缺陷检测系统分辨率的微观细节。最后,Teron 610利用动态缺陷过滤器,允许用户将检查工作重点放在特定类型的缺陷上。总体而言，这些特性的结合使得KLA/TENCOR Teron 610成为功能强大且高度先进的掩模和晶圆检测模型。它具有高分辨率的成像和自动检查功能,能够检测小至40 nm的缺陷,并且其先进的模式识别和缺陷滤波器功能使其成为确保最苛刻的光掩模和晶片准确性的理想设备。