二手 KLA / TENCOR UltraPoint 1010 #9277851 待售
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KLA/TENCOR UltraPoint 1010掩模及晶圆检测设备是一种集成的掩模和晶圆检测系统,旨在为当今最先进的光刻工具提供卓越的性能。该单元结合了先进的视觉技术和自动化系统,以快速识别和分类最先进的蒙版和晶片上的缺陷。这台机器的主要特点包括高速摄像机、自动缺陷检测、通过X射线或光学检查识别缺陷、3D成像能力以及自动反馈进行校正。KLA UltraPoint 1010还提供了一套全面的缺陷识别和分类算法。TENCOR UltraPoint 1010最重要的特点之一是能够快速检查大量的掩模和晶片。该工具具有扫描速度和分辨率的独特组合,每小时最多可检测10个晶圆。这样可以确保资产可靠,并且可以处理各种生产方桉。UltraPoint 1010还提供了高度可定制的检查工作流。这包括能够定义复杂的视场需求,以及可变放大倍率和获取设置。它还包括可定制的缺陷分类参数,这些参数可以调整以提供最佳结果。KLA/TENCOR UltraPoint 1010旨在轻松集成到任何制造环境中。它还完全符合行业标准,包括SEMI PV29-0512和JEITA 5.1。它包括一个用于远程控制和实时报告的web界面,并且还与其他现有的掩码和晶圆检查系统兼容。综上所述,KLA UltraPoint 1010 Mask&Wafer Inspection Model是一种集成设备,旨在提供高精度和高效的缺陷检测和分类。它提供高速扫描、高级成像技术、自定义缺陷识别和分类算法,以及易于集成的体系结构。凭借其高性能功能,TENCOR UltraPoint 1010非常适合用于高级光刻工具。
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