二手 KLA / TENCOR UVision 5 #293586464 待售

ID: 293586464
Brightfield inspection system.
KLA/TENCOR UVision 5是一种先进的自动掩模和晶圆检测设备,旨在检测制造前半导体材料中的异常。使用高分辨率光学和专利检验算法,它可以检查掩模或晶片表面非常精细的细节是否有缺陷,如划痕和污染。随着测量灵敏度和精度的提高,KLA UVision 5能够检测到最微妙的掩模和晶圆缺陷。TENCOR UVision 5利用多个高分辨率环境探测器来研究晶圆和掩模,而无需昂贵的系统校准或其他组件。UVision 5使用特殊的多轴运动控制和成像单元,对宏观和微观尺度的表面进行精确的测量和分析。此外,KLA/TENCOR UVision 5利用深度学习和人工智能技术检测和区分缺陷和污染物。KLA UVision 5的自动化成像和测量系统可以检测任何受污染的颗粒,包括碎片、尘埃和其他污染物,这会对半导体器件的性能产生不利影响。该机器可用于评估由多种材料制成的晶片,如硅、玻璃和聚合物。该工具利用其高分辨率成像技术和图像融合功能,详细概述了掩模或晶片的任何部分。该资产还包括一个用户友好界面,使操作员能够快速访问数据并自定义其掩码或晶圆检查。它还提供利润率分析,操作员可以比较检查前和检查后的结果,以确保质量的一致性。该模型可以完全手动或半自动模式操作,旨在捕获与质量或制造变化有关的任何样品,供进一步研究。TENCOR UVision 5的自动化检测设备还提供了对可追踪性和符合法规标准的支持。它配备了集成的合规性和数据跟踪软件,可确保系统收集的所有数据都安全地存储在中央服务器单元中。UVision 5还允许对检查结果进行扩展分析,包括模式识别和统计过程控制。机器的先进特性提供了满足半导体行业高需求所需的可见性、数据可靠性和信息准确性。
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