二手 KLA / TENCOR WI-2250 #293607201 待售
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KLA/TENCOR WI-2250是为半导体制造商提供高质量缺陷检测性能的掩模和晶圆检测设备。它采用了先进的技术,如申请专利的WaveSight TM成像技术,与传统的阵列化解决方桉相比,它提供了高达50%的灵敏度。它使用脉冲激光束和高分辨率CCD相机对最复杂的缺陷特征进行临界检查,提供最可靠、准确的结果。该系统适用于光学掩模检测、光掩模图样检测、缺陷检测计量、芯片对芯片检测、迭加计量、晶片对晶片成像等应用。它设计用于检测甚至很小的缺陷,如针孔、划痕和小至0.2微米的尘埃颗粒。该检测单元提供卓越的图像质量,使可靠的缺陷覆盖和快速的吞吐量.KLA WI-2250还具有自动对焦和自动校准功能,便于操作和快速启动。例行操作不需要操作员,可以方便地对机器进行培训和更新,以满足晶圆检查的需要。光学工具由专利干涉仪、远程中心成像资产、5倍光学变焦镜头、集成照明模块和高分辨率CCD相机组成。成像过程也与SPC(统计过程控制)兼容,以确保为每一个新层实现新的过程配方。TENCOR WI-2250模型能够为掩码评估、电路和模具模式识别以及迭加计量应用提供高精度测量。它符合最新的3D评估行业标准,并有保修作为后盾,以确保质量和可靠性。WI-2250是掩模和晶片检验的理想选择,适用于最先进的半导体器件制造工艺。它提供了超强的灵敏度来检测低至0.2微米的缺陷特性、可靠的缺陷覆盖范围和快速的吞吐量,使其成为满足您所有缺陷检测需求的理想选择。
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