二手 KLEO LDI CM 20 #9246262 待售

KLEO LDI CM 20是一种先进的掩模和晶圆检测设备,用于识别光刻中使用的可能导致产量损失的图样上的不合格标记。该系统由数字成像子系统、光衍射子系统和数据管理子系统组成。数字成像子系统利用电荷耦合器件（CCD）扫描高灵敏度和动态范围的样品表面。然后使用复杂的软件捕获和分析图像。软件能够检测、识别和测量缺陷、光盘和晶粒。该单元还结合了具有稳定输出的明亮光源，以优化扫描表面上暗光区域的对比度。光衍射子系统提供多角度衍射光扫描来评估表面特性。光源可移动以测量各种表面构型和入射角。对从该子系统获取的数据进行分析，以确定可能导致产量损失的一系列不符合要求的元素。数据管理子系统允许用户访问来自数字成像和光衍射子系统的扫描结果。实时监控和调整扫描参数等功能使用户能够确保每个样本的质量。所有收集的数据都存储并组织在数据库中，以便进行有效的召回和分析。总体而言，LDI CM 20面膜和晶片检测机能够提供快速、准确、可靠的光刻模式评估。高度自动化的工具使用户能够快速、经济高效地查找和减少产量损失要素,从而确保合规性和整体质量。