二手 KOBELCO / LEO EPM #293642530 待售

KOBELCO/LEO EPM是一种用于半导体制造厂的最先进的掩模和晶圆检测设备。该系统提供端到端检验解决方桉,在生产的每个阶段验证掩模和晶片的完整性,帮助减少因缺陷造成的产量损失。该单元使用高分辨率成像、光掩模评估和自动检查，以实现对几何形状和缺陷的快速准确测量。这样可以快速识别设备到晶片的变化,从而能够快速调整生产过程并提高产品质量。机器还可以在曝光光掩模和晶圆蚀刻过程中检测缺陷。该工具融合了各种创新技术，如先进的激光和带电粒子成像资产。与传统光学显微镜相比，该模型提高了光掩模和晶圆检测的精度和分辨率，提高了100倍。带电粒子成像设备在识别和定位缺陷方面也提供了更高的精确度，使检测更早、更具成本效益。LEO EPM还具有自动成像系统，用于创建高分辨率的光掩模和晶片图像。该单元执行图像处理,将图像与存储的数据进行比较,从而提供快速、可靠的结果。它还可以输出各种类型的图形数据和书面报告。总体而言，该机器的设计旨在提供一种全面有效的面膜和晶片检验方法，帮助减少因产品缺陷而造成的产量损失。该工具的高分辨率成像和自动化过程还确保了更快、更准确的检查,使制造商能够及时调整其生产过程。使用KOBELCO EPM,制造商可以降低半导体制造操作带来的风险,并为客户提供质量更好的产品。