二手 KOKUSAI VR-120A #9148334 待售

KOKUSAI VR-120A是一种综合性的多传感器掩模和晶圆检测设备，设计用于生产先进的单层或多层掩模和晶圆图案结构。其先进的视觉技术和先进的照明系统提供了无与伦比的分辨率和检查覆盖范围。该系统包括高分辨率LED数码相机单元、高速扫描窄红外光束传感器和全自动缺陷检测机。相机工具使用CCD（电荷耦合器件）图像传感器，提供高达8.5 μ m像素的分辨率。它提供高达每秒200个字段的图像捕获。窄红外光束传感器提供亚微米分辨率，每秒最多可检测500万个图样。它包括一个用于可靠缺陷检测的现场聚焦控制资产。该模型提供了一个全面的模式检测和缺陷检测能力。模式识别功能包括测量图桉、线宽、层厚度、表面积、步高和角度，以及CD（临界尺寸）和发光检查。缺陷检测功能包括孔隙面积、抗残留物、桥梁样品、划痕、污染物、晶体缺陷、芯片蚀刻和光致抗蚀剂显影。该设备能够以10厘米x 10厘米的光学视野检查整个掩模或晶片。它具有集成的舞台龙门系统和自动化的舞台移位装置，能够快速准确地检查大型掩模和晶圆区域。该机支持手动、半自动和全自动操作，并提供近乎实时的结果。该工具设计用于恶劣生产环境中的可靠操作。它配备了功能强大的CPU模块、易于使用的图形用户界面、网络端口和可选内存扩展以及多用户身份验证资产，以确保安全运行。此外,可选的接缝检查技术和掩模图像库还可以精确地重新查看缺陷。VR-120A面膜和晶片检验模型在生产环境中提供可靠、准确的检验结果。其全面的缺陷检测和模式识别功能使其成为先进的掩模和晶圆生产工艺的理想选择。