二手 KOSAKA LAB RSP300-11 #293637186 待售

KOSAKA LAB RSP300-11是一种用于检测光刻模式形成过程缺陷和设计数据布局的掩模和晶圆检测设备。它为各种过程提供检查解决方桉,包括FEOL（前端线）、BEOL（后端线）和WLP（晶圆级封装）。该系统由四个主要组件组成：一个光刻投影单元、一个电源、一个摄像机和一台计算机。光刻投影机由多束激光器和可移动的X-Y-Z级组成。它用于将光刻光栅投射到晶片上，并检查晶片表面上形成的抗蚀层图样。电源为激光和舞台控制供电。摄像机是拍摄晶圆图像的高分辨率数码摄像机。计算机工具用于控制和分析资产生成的数据。RSP300-11使用先进的算法来检查和分析晶圆上形成的模式。它能够通过目视检查检测到与过程有关的缺陷。它还可以检测与光掩码失准和线宽降压误差有关的模式失准造成的总缺陷。该模型可以轻松配置各种检查选项,如淋浴文件、Chor文件、激光扫描、扇区等,以便更有针对性地检测缺陷。设备还包括缺陷汇总、缺陷区域映射、重复故障分析和统计缺陷分析等一套自动工具功能。KOSAKA LAB RSP300-11能够存储以前的数据,并将其用于结果比较和与客户规范的比较。该系统还提供了一个特征，通过控制其强度，可以消除由于图样的背景噪声而产生的错误相对信号。综上所述,RSP300-11是一个高性能的掩码和晶片检查单元,它提供高级功能来检测模式缺陷,并以最小的用户工作量与客户规范进行比较。其先进的算法、多种配置选项和自动工具功能使用户能够快速高效地检测与过程相关的缺陷，提高过程窗口稳定性和产品产量。