二手 LASERTEC 2PG10 #9267070 待售
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ID: 9267070
Pellicle inspection machine
Automatic transportation & mounting of photomask production process
Auto loader
(3) Components included.
LASERTEC 2PG10是一种掩模和晶片检查设备,用于检查晶片和网条生产中的缺陷。2PG10设计用于快速、准确地执行掩模和晶片检查。检测系统采用高功率激光和先进成像技术,使其能够检测晶圆或掩模表面可能存在的缺陷。LASERTEC 2PG 10的先进成像技术利用光学和激光扫描检测缺陷,提供一微米以内或以下的精度。高功率激光器使设备能够捕获每个受损位置的详细图像。该成像技术还提供了可扩展的分辨率来探索面罩和晶片上的各种特征来检测缺陷。2PG10还提供了一个自动通过/失败机器,以确保口罩和晶片被迅速和准确地检查。自动通过/失败工具标记可能包含缺陷的任何区域,并将自动发送信号以供进一步检查。在此阶段,资产将使用背光来帮助暴露晶圆或掩码上的任何低成本或隐藏缺陷。LASERTEC 2PG10还具有内置的AI功能,可用于有力地检查掩模或晶圆的整个表面。机器可以检测到表面的任何瑕疵,如空隙、裂缝、划痕、条纹或变色。然后,AI将对缺陷进行分类并分配适当的缺陷类型。2PG10还有一个复杂的用户界面,可以对模型进行有效的操作和监控。用户可以设置检查参数以准确满足应用程序的要求并在必要时进行修改,同时跟踪检查过程的进度。用户界面还提供了保持连续的检查活动日志以供将来参考的能力。LASERTEC 2PG10是检查半导体生产和开发以及MEMS和其他光掩模应用中晶圆和标线的理想工具。其快速、准确的操作以及高精度的检测,使其成为制造高性能半导体的理想设备。
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