二手 LASERTEC PEGSIS P100 #9140823 待售

LASERTEC PEGSIS P100
製造商
LASERTEC
模型
PEGSIS P100
ID: 9140823
Reticle inspection system, 8" Optical bench Electronic enclosure Auto loader unit Mini environment unit SMIF System Handler system Chambers (2) Chemical boxes TCU Operating system: Windows XP 2011 vintage.
LASERTEC PEGSIS P 100是为研发先进光刻工艺而设计的掩模和晶圆检测系统。它提供了必要的缺陷检测和分类功能,结合了基于旋转器的表面扫描技术和基于图像的方法。通过P100的分析功能,可以对每个缺陷的大小、位置和其他特征进行更精细的评估,从而对设计过程中可能出现的任何问题进行快速评估和故障排除。P100配备了先进的4路X射线扫描功能、专用的模式识别系统以及精密的设计对比算法。四向X射线扫描能够有目的地识别地形复杂的特征和细微的深度或异常缺陷。这一扫描系统能够准确测量和分析这些特征,为进一步定量评估掩模和晶片结构和组成的不同方面提供必要的定量数据。P100还设计了模式识别和比较系统,以自动检测常见的掩模和晶圆缺陷。这些系统的设计旨在提供快速、高效的缺陷识别,并预测和预测晶圆和掩模结构的变化。模式识别系统还能够执行图像相似性分析,这有助于识别和证实可能与工程设计相关的类似缺陷。P100的基于特征的设计比较算法进一步补充了图像相似性分析,从而能够全面评价掩模和晶圆结构的不同方面。通过比较不同的设计,P100装备了识别它们之间的异同,并在设计过程和任何掩模或晶圆异常之间产生相关性。因此,PEGSIS P 100旨在提供高级掩码和晶圆检查功能,并能够快速检测和分类缺陷。结合X射线扫描、模式识别和设计比较算法,P100提供了功能强大且用途广泛的分析见解,可用于快速排除和优化任何设计过程。
还没有评论