二手 LEICA INS 3000 #293813191 待售
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LEICA INS 3000是一种高性能的掩模和晶圆检测设备,旨在为掩模和晶圆检测应用提供先进的成像和测量能力。该系统采用独特的光学台式机设计,针对掩模和晶片的快速扫描和对准进行了优化。该单元还包括一个高分辨率晶圆检测模块,旨在最大限度地提高吞吐量和过程的可重复性和可重复性。该机的设计目的是为晶圆和掩模缺陷提供更快、更可靠的处理。它允许自动控制晶片和掩码同步,以确保在最短的时间内获得最准确的结果。高性能成像工具包括用于识别和消除错误检测的高级算法,同时创建一个易于查看的相关缺陷检测结果列表。该资产配备了提供最佳图像质量的高端光学引擎,同时具有光场和暗场图像模式。高性能光学模型包括自动对准和晶体调节,用于精确测量和聚焦掩模和晶片。该设备还设计为提供先进的自动调节能力,对不同的口罩和基板进行自动光级校准。该系统还包括一个预定义的图像处理算法库,这些算法很容易为特定的晶圆和掩码检查活动定制。该单元还包括一个直观的GUI(图形用户界面),使技术人员能够以安全和面向工作流的方式访问和控制映像系统。GUI允许操作员快速高效地启动机器的检查和测量活动。除了高性能成像工具外,LEICA INS-3000还配备了全面的感官包。这包括温度传感器模块、噪声传感器模块和共轴振动模块。该资产还包括一个多功能校准阶段,使光学模型能够自动校准,从而实现最高的精度。INS 3000提供了光学和设备级别性能的独特组合,全部为一个软件包。这使得它成为目前市场上可用的领先的晶圆和掩模检测系统之一。
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