二手 LEICA / VISTEC 3300 #9237527 待售

LEICA / VISTEC 3300
製造商
LEICA / VISTEC
模型
3300
ID: 9237527
晶圆大小: 12"
Wafer inspection system, 12".
LEICA/VISTEC 3300是半导体生产行业的领先、先进的掩模和晶圆检测设备。LEICA 3300是在LEICA和VISTEC之间开发的,专门为快速、经济高效地检测晶圆和掩模对准步骤中的缺陷而设计,提供了前所未有的准确性和自动化水平。该系统由几个组件组成,包括一个最先进的数码相机、一个多轴级和一个高精度的导引臂,全部协同工作以提供晶圆或掩模表面的全覆盖。数码相机采用专利滤波器阵列技术,将高分辨率成像与不同波长的光结合起来,检测甚至最小的缺陷。另外,内部开发的点检测算法可以搜索晶圆或掩模上的缺陷,并提供不间断的扫描以快速评估缺陷。该级采用线性轴承导轨建造,完全可编程,以便在不同视图中自动对准晶圆或掩模。它还为精确检查提供了难以置信的重复精度。导臂是一种先进设计的专利申请机构,提供精确的对准和处理面罩或晶片的最佳扫描条件。该臂还具有用于精确速度和运动控制的电动伺服电动机。除这些组件外,该单元还包括用于图像处理和缺陷分析的功能强大的软件。它包括自动对齐、3D图像堆迭、颜色编码、自动校准、图桉匹配以及直观的过程控制机等几个功能。所有功能都设计为在晶圆和掩模检验过程中提供最高性能。VISTEC 3300工具是任何希望在降低成本的同时提高效率和准确性的半导体生产操作的理想选择。其先进的设计和特点确保了准确可靠的检验,允许提高产量和更高质量的结果。
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