二手 LEICA / VISTEC DM5500B #9161873 待售

LEICA/VISTEC DM5500B是一种高精度、综合性的掩模和晶圆检测设备，对集成电路组件的模式和设计进行全面分析。LEICA DM5500B精确测量各种设备,包括薄介电膜、亚微米场结构元件和光掩模。该系统覆盖范围广泛，晶圆尺寸可达300毫米，放大倍数很大。它具有强大的计算机控制扫描单元，以确保质量分析数据的一致性和可靠性。机器的自动扫描功能使操作员能够快速检查和分析阵列几何形状、薄膜层的测量和缺陷、隔离特征和对齐配准参数。内置的报告功能会自动报告每次扫描,并可以电子方式共享。VISTEC DM5500B提供高级测量和缺陷分析功能,使用户能够定性和定量分析参数趋势,如匹配、迭加、接触孔形状和线/空间几何。对于完整的表征和数据相关性,刀具的数组和晶圆映射选项完全有信心地指示潜在缺陷的坐标。这些结果可以与其他测试数据一起立即监测和分析。另外，放置精度可以用预先表征的晶片模板观察到，该模板可以从文件快速加载到资产中并在分段晶片上扫描。DM5500B利用其高分辨率的数字光学和衍射成像技术检查晶片,从而提高聚焦深度和高图像质量,同时保护曝光图样的完整性。该模型在伪步进器或镜像步进器平台中兼容地读取和写入OPC（光学接近校正）,从而能够对OPC进程进行详细的有效性检查。设备配备了内置的提高生产力功能,如启动筛选器和集成报告管理器。这些功能可以根据用户的特定需求量身定制，从而可以设置系统以获得最佳性能。启动筛选器可用于快速掩码质量控制和自动生成报告。可选的高级缺陷聚类功能可以进一步描述"特殊"缺陷,而自动缺陷分类工具有助于改进质量控制过程。此外,LEICA/VISTEC DM5500B支持远程检查/分析功能,允许经验丰富的操作员直接访问和运行设备,并查看许多用户的数据和分析。这使用户能够快速识别任何必需的流程或新出现的趋势,从而帮助不断提高产量。加上强大但易于使用的软件，LEICA DM5500B是一个强大而全面的掩模和晶圆检测机。该工具为用户提供了全面通过/失败测试所需的准确性和精确度。