二手 LEICA / VISTEC INS 3000 DUV #9047301 待售
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已售出
ID: 9047301
晶圆大小: 8"
优质的: 2003
Defect inspection system, 4" - 8"
(2) Open Cassette with tilt mechanism
Operator console with track ball joystick
OS Window NT4.1, Review S/W: VISCON NT 4.3
SONY CCD DXC990 camera & LCD monitor
Motorized X-Y stage
Contact-free pre-aligner
Objective:
2.5X/0.12 PL Fluotar
10X/0.50 BD HC PL Fluotar
50X/0.85 BD FL PL APO
100X/0.90 BD FL PL APO
150X/0.90 BD FL PL APO
Eyepieces: HC PLAN 10X (LEICA)
Motorized Beam splitter & DIC
LFS Auto Focusing
Confocal Image CFI, CF2
Dark Field & Bright Field
DUV function: not currently setup
2003 vintage.
LEICA/VISTEC INS 3000 DUV是一款高性能的掩模和晶片检测设备,设计用于检测最先进晶片级的缺陷。该系统采用高分辨率图像传感器、高级光学器件和高级控制算法来扫描掩模或晶片的边缘和表面,以确保完全无缺陷的质量。该设备能够检测小至10nm的缺陷,像素大小为4微米。机器的高级光学器件可实现高分辨率成像,确保检测和识别掩模或晶片表面存在的任何缺陷。它可以产生分辨率高达1200万像素的图像,提供准确的检查,有助于查明否则很难发现的违规行为。该工具还具有6.5毫米的最大视野,提供了广阔的检查区域。资产还具有一个专有的控制算法,允许检查过程完全自动化。这样,检查员可以快速设置和定制模型,以适应不同的图桉大小、形状和方向。这有助于减少与掩码和晶圆检查相关的任何耗时和繁琐的任务。算法还允许对检查过程进行精确的速度控制,允许用户在不影响精度的情况下提高吞吐量。同时,设备具有保护检测完整性的内置安全特性。例如,它具有自动关机功能以最大程度地减少功耗,以及可根据用户要求设置的自动关机系统。该装置还被设计为在危险环境中使用的安全装置,因为它经认证符合CE、FCC和UL的国际安全标准。此外,机器还附带了一个易于使用的软件包,提供了结果的详细视图。用户可以自定义该工具以满足他们的需求,因为它包括各种参数,例如模式大小、检测算法和速度设置。从检查中获得的数据可以很容易地导出成流行的图像格式,从而可以对数据进行进一步的处理和分析。总体而言,LEICA INS 3000 DUV是一种高性能掩码和晶圆检测资产,可提供高精度,有助于确保完全无缺陷的质量。其先进的光学和专有的控制算法允许检查过程的自动化和提高生产率,而其安全特性提供了额外的保护层。所有这些特性使该模型成为任何检验或质量控制应用的可靠和高效的工具。
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