二手 LEICA / VISTEC INS 3000 #9236858 待售

LEICA / VISTEC INS 3000
ID: 9236858
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
Wafer inspection system, 8" SMIF Interface 1999 vintage.
LEICA/VISTEC INS 3000是一种自动光学检查(AOI)设备,设计用于掩模和晶圆检查。该创新系统是为满足晶圆加工和100纳米以下光刻的苛刻要求而设计的。它是一个可靠且经济高效的单元,能够以统一的一致性处理高吞吐量。该机能够检测和识别具有3D重建功能的缺陷,将敏感检测与缺陷分析特征相结合。其电动Z轴允许进行各个阶段的检查,如变焦、平移、聚焦和自动校准。它还在脉冲级别提供清晰的缺陷图像。LEICA INS 3000利用先进和先进的光学器件,在晶圆的Z轴上有三个摄像头,使其适合任何检查工作。该工具采用集成的图像成型和图样匹配引擎,以高速扫描、准确、可重复的结果和易于操作的方式,最大限度地提高了检测效率。该资产具有毛细管视觉模型和集成的掩模对准程序,便于缺陷位置捕获和校正。动态成像模式有助于分析缺陷,以及执行3D图像处理以识别、分类和大小缺陷特征的能力。该设备还具有晶圆对准系统,具有用于晶圆识别、校准和失真校正的集成程序。自定义软件工具可实现与用户定义标签的模式匹配,动态缺陷捕获功能可帮助从不同设计层捕获的数据中重建晶圆的图像。总体而言,VISTEC INS 3000是一个直观而有力的屏蔽和晶圆检测单元,能够以高效的方式满足任何生产要求。这台多面检测机的集成软件包、先进的成像选项和先进的光学特性,提供了卓越的效果。该工具利用具有缺陷分析功能的自动化和敏感检查来提供统一和经济的结果。
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