二手 LEICA / VISTEC INS 3300 #9174843 待售
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LEICA/VISTEC INS 3300是一种高度先进的掩模和晶圆检测设备。它使用自动晶片检查和消色差尺寸测量来识别和纠正掩模或晶片中的任何缺陷。系统的三维成像能力提供了掩模或晶圆当前结构的高分辨率地形图像。该装置专为自动化操作而设计，并配有独特的自动对准功能，以确保一致的成像结果。机器还配备了多种算法，可以自动分析数据，检测任何缺陷。这些算法设计用于检测粒子缺陷、表面不规则、模式缺陷和缩放问题。该工具既支持向资产手动输入晶片，也支持使用机器人晶片处理程序自动加载。自动装载机能够一次性放置多达50个晶片。该机设计为连续运行,用于大型生产运行。此外,该模型还配备了统计过程控制（SPC）包,用于跟踪性能和结果。此SPC软件包提供实时数据,使用户能够在对生产产生负面影响之前查看趋势并发现可能的问题。所有这些数据都可以通过用户友好的GUI访问。使用LEICA INS 3300,用户能够准确测量晶片上和整个基板上的关键尺寸。设备精确到亚微米级，收集到的数据通常用于过程控制和表征。VISTEC INS 3300是一种高度先进的检查系统。它提供具有独特自动对齐功能的自动化操作，提供掩模或晶圆结构的高分辨率地形图像，并具有多种自动检测任何缺陷的算法。此外,它还配备了一个统计过程控制包,用于跟踪性能和结果,以及测量晶片上和整个基板上的关键尺寸的能力。简而言之,INS 3300提供完整、准确、高效的掩模和晶片检查。
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