二手 LEICA / VISTEC INS 3300 #9195365 待售

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LEICA / VISTEC INS 3300
已售出
ID: 9195365
晶圆大小: 12"
优质的: 2002
Review station 2002 vintage.
LEICA/VISTEC INS 3300是一种多功能的掩模和晶圆检测设备。该系统提供计量级功能,用于对颜色和高分辨率图像进行光学检查,以及对半导体工艺的所有阶段进行尺寸和高精度测量。LEICA INS 3300的灵活设计满足了高度自动化生产环境不断变化的需求。VISTEC INS 3300对各种尺寸的晶片和掩模提供高精度、非接触式光学检查。该装置采用自动聚焦、缝合、光学缺陷检查、基准对准和基准测量,以确保掩模和晶片的精度。机器可以自动检测光学和掩码缺陷,允许用户快速识别和纠正生产过程错误,避免耗时的标线翻拍。该工具提供精确的测量以确认遮罩形状的准确性。高度敏感的成像传感器在X轴和Y轴上提供亚微米分辨率,而14位A/D转换器可确保Z轴上的精度。此外,2D和3D曲面分析算法提供了掩模特征的轮廓映射,以确保临界尺寸精度和缺陷检测。此外,INS 3300使工程师能够同时检查多个掩码,从而减少了对多次重新测量的需求。多掩码检查功能支持从多个来源同时检查掩码,从而实现更快的周转时间和更高的生产可靠性。总而言之,LEICA/VISTEC INS 3300为半导体元件制造商提供了一套功能强大、用途广泛的功能。其计量级的准确性、精确的自动化测量功能以及并行的多掩模检查功能使其成为寻求改进产品质量和可靠性的组织的理想资产。而且,其灵活的设计以其自动聚焦、缝合、光学缺陷检测、基准对准、基准测量等能力满足了不断变化的大容量半导体行业的需求。
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