二手 LEICA / VISTEC LDS 3000 #293628458 待售

LEICA/VISTEC LDS 3000是为生产高质量半导体器件而设计的自动化激光基掩模和晶圆检测设备。该系统采用了专有的光学技术和先进的成像系统，实现了光掩模和晶片的无缺陷检测和修复。它具有三个不同的光路，每个光路设计为执行不同的任务。第一个路径用于检查低放大倍率的掩模和晶片，能够检测小至一微米的缺陷。第二条路径针对高放大倍率缺陷进行了优化检测，能够解决低至0.2微米的缺陷。第三条路径经过优化，在极高的放大倍率下增强了缺陷的分辨率，能够检测到小至0.1微米的缺陷。LEICA LDS 3000能够识别两种类型的缺陷：掩模上的结核和晶圆上的颗粒。它可以检测由于背面对准、光掩模不对准、粒子污染以及错过元件和反射率突然变化等光学缺陷而产生的缺陷。它还可以检测由薄/粗元素、缺少元素、快门错误和未对齐引起的缺陷。该单元还包括光谱成像、偏振成像和差分成像等光学检测技术，以最大限度地提高缺陷检测能力。VISTEC LDS 3000是一款全自动机器，具有可互换的光圈工具和直观的用户界面。它可以在自动化和手动检查模式中使用。自动检查模式对于生产是最佳的,而手动模式最适合识别细小的详细缺陷子集。LDS 3000具有存储掩码数据的能力,允许将来对数据进行分析,并有助于缩短总体生产时间。此外,该资产还具有用于掩模和晶片的对齐模型。这样可以在操作过程中快速设置时间和严格跟踪掩码和晶片。LEICA/VISTEC LDS 3000旨在最大限度地降低总体生产成本、缩短上市时间、最大限度地提高质量控制。其高速处理时间和先进的成像能力使其成为目前市场上最先进的检测系统之一。这种设备非常适合生产空间有限的高性能设备，因为它能够有效和可靠地检测光掩模和晶片的低级缺陷。