二手 LEICA / VISTEC LDS 3000M #9267069 待售

LEICA/VISTEC LDS 3000M是一种用于检测和识别复杂几何结构缺陷的掩模和晶圆检测设备。该系统采用超高分辨率5.3百万像素（MP）彩色线条扫描摄像头,具有大视野,每秒多帧。图像可以在17英寸的显示器上以彩色显示,从而可以轻松评估和比较多个样本。LEICA LDS 3000M利用高端光学器件和先进的成像装置来产生始终如一的高质量和稳定的图像。在VISTEC LDS 3000M中集成了一台精密舞台运动机,以实现高速扫描和高精度掩模对准。该工具的高级光学资产可以检测到40 nm以下的功能。LDS 3000M还可以检测到20dB的光强度变化。LEICA/VISTEC LDS 3000M能够检测非常小的缺陷,例如针孔和结节,即使在大面积的设备中也是如此。此外,模型还具有增强的检查功能,可以快速检测特定的故障站点,如未对齐、间距和线宽。LEICA LDS 3000M还提供了高级缺陷分类功能,可帮助以高度精确的方式识别单个掩码中的模式。VISTEC LDS 3000M能够在眨眼之间呈现复杂的图像,从而能够更快、更准确地进行评估。设备提供自动缺陷分类，大大缩短了检查时间。LDS 3000M还提供了进一步细化缺陷提取以提高精度的能力。LEICA/VISTEC LDS 3000M配备了一系列编辑和分析功能,为检查和分析掩码提供了强大的环境。LEICA LDS 3000M生成的图像可以以图像格式保存或以各种文件格式导出,从而可以进行进一步分析。总体而言，VISTEC LDS 3000M是一种先进且高度自动化的高分辨率掩模和晶圆检测系统，能够快速准确地检测缺陷。它的高级成像单元设计用于生成掩模和晶片缺陷的超高分辨率和稳定图像,而其自动缺陷分类可确保高效和准确的结果。