二手 LEICA / VISTEC LDS 3300C #9249375 待售

LEICA/VISTEC LDS 3300C是LEICA开发的一种高端掩模和晶圆检测设备。它旨在检测和定位蒙版或晶片上的图样,并提供有关诸如间距、迭加和缺陷大小等特征的信息。LEICA LDS 3300C是一个全面的系统,能够检测各种缺陷,包括颗粒缺陷、蚀刻故障、配准错误和表面变化。VISTEC LDS3300C包括三个组件：控制单元、视觉单元和晶圆处理程序。控制单元包含中央处理、控制和分析软件应用程序。视觉单元包含用于成像的双目标透镜,以及向要处理的控制单元发送检查信号的硬件组件。晶圆处理程序负责安装晶圆并将其移动到适当位置进行检查。LDS3300C还具有两种晶圆检查类型,单向检查（UDI）和循环扫描（CS）。UDI用于检查晶片表面的全场掩蔽和配准。CS用于高速晶片检测，扫描晶片沿晶片周长的部分。对于UDI和CS, LDS 3300C检测到的缺陷远小于螺距大小。它还可以区分孔径边缘的错误定位和孤立缺陷等难以检测的缺陷。VISTEC LDS 3300C利用VISTEC快速可靠的算法进行图像处理和评估，为用户提供高速性能。该单元还能够进行多站点晶圆扫描，并且可以很容易地与其他或定制的软件应用程序集成。总体而言,LEICA/VISTEC LDS3300C是一款先进的掩码和晶圆检测机,具有无与伦比的精度、可靠性和速度。LEICA LDS3300C的用户可以通过其强大但用户友好的界面确保其掩模和晶片中的高质量表面结构。