二手 LEICA / VISTEC MIS 200 #293671051 待售

ID: 293671051
Inspection system.
LEICA/VISTEC MIS 200是半导体工业中使用的一种精密的掩模和晶圆检测设备。它对暴露的薄膜蒙版和晶片基板都提供高分辨率成像,使其能够快速检测到蒙版和晶片上的最小误差。该系统由于结合了光学、电子和软件而高度可靠,确保了所有缺陷的识别和精确映射。该单元包括一个可处理多种掩码和晶圆格式的步进重复模块。此模块允许使用可编程级进行精确对齐,从而为每个对齐提供精确的可重复性。它还有一个高分辨率的光学机器,同时具有明场和暗场图像处理,以进一步确保高精度。光学工具包括多镜头设计和图像投影资产,其中包括X和Y坐标的数字线性编码器以及单轴Z轴控制。LEICA MIS 200还包括一个全面的软件环境。该软件提供了准确评估晶圆和掩码的工具。它可以检测和分析平面图像和3D图像中的打开和关闭缺陷,以及确定受任何缺陷影响的区域。软件还提供了一个完整的缺陷记录模型,并且可以以多种格式显示这些结果,包括横截面图像、轮廓图和散点图。该设备设计方便操作和维护。它配备了车载诊断程序,可快速有效地诊断和排除问题。用户还可以访问教程和帮助文档,以获得根据用户规范配置系统所需的任何帮助。此外,它还具有自动校准和优化功能,可以根据需要不断优化设备。总体而言,VISTEC MIS 200提供了一个独特的和强大的机器面膜和晶圆检查。凭借其先进的光学、软件和维护功能,此工具旨在在这个关键行业中提供无与伦比的性能和可靠性。
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