二手 LEICA / VISTEC MIS 200 #293671055 待售

LEICA/VISTEC MIS 200是一种创新的掩模和晶圆检测设备，设计用于检查生产过程中光刻图样的完整性。它具有独特的成像光学设计，结合特殊的处理算法，可以快速准确地形成和分析高分辨率的纳米级特征图像。在LEICA MIS 200中使用的成像光学器件是基于高光圈（N.A.）冷凝器，结合了场选择性物镜和冷却数码相机。该系统能够快速获取具有广泛视野的纳米级图样的高分辨率图像。得到的图像非常精确，细节可见不到1纳米。此外,该单元能够获取可用于准确测量图样质量和执行缺陷识别的干涉图样。VISTEC MIS 200采用的功能强大的软件算法可以从获取的图像中提取对缺陷分析极为有用的信息。例如，机器能够检测任何图桉的几何特性甚至非常小的偏差，以及识别晶圆上的关键缺陷。此外，该软件能够自动测量一组设备的接触电阻，从而对关键设备参数进行快速可靠的评估。MIS 200工具还配备了许多用于数据管理的功能。这些功能包括允许全面跟踪所有获取的图像的可追踪性资产,以及用于存储所有获取的图像和结果以供将来参考的数据存储功能。因此，LEICA/VISTEC MIS 200是检查光刻工艺中纳米级特征的行业标准工具。它能够获取非常高分辨率的图像,从而能够对设备的质量进行彻底的缺陷分析和详细的评估。此外,该模型还具有高级数据管理和可追踪性功能,允许用户存储和访问所有获取的图像和结果。