二手 LEICA / VISTEC MIS 200 #9250501 待售
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ID: 9250501
晶圆大小: 8"
Inspection system, 8"
Handler and motor stage
No scope
No Hard Disk Drive (HDD).
LEICA/VISTEC MIS 200是一种蒙版和晶片检查设备，能够以高度的精度、速度和一致性检查和表征蒙版和晶片。它比传统的检测方法准确得多，可以更快地检测缺陷。LEICA MIS 200利用共聚焦光学系统最大限度地提高其精度和精确度。共焦光学器件由具有可调狭缝的物镜和具有固定光圈的集合透镜组成。光学器件允许聚焦光束穿过掩模或晶片，然后使用检流计扫描仪和安装在2轴检流计上的镜子单元进行扫描。这样就可以将光束聚焦并精确地对准掩模或晶片的各种特征。VISTEC MIS 200的主要优点是能够准确定位微量和纳米尺度范围内的缺陷，精度小于2nm。此外,它还可以高度精确地识别和测量局部几何形状和特征,如拐角、边和角度。此外，还可用于测量CD （CD）、线宽和其他精度较高的参数。再者，MIS 200配备了高速成像算法和高度灵敏的光电探测器，可实现最大检测效率。机器可以检测非反射表面拓扑，如虚空和虚空间隙，并可以识别弱反射区域中的粒子。SUMMARYLEICA/VISTEC MIS 200是一种掩模和晶片检查工具,能够以高度的精度、速度和一致性检查和表征掩模和晶片。它利用共焦光学资产最大限度地提高精度和准确度，并以高度精度检测各种特征，如角、边、角。此外，它可以侦测到非反射表面拓扑，例如Void和Void Gaps，并且可以识别弱反射区域中的粒子。它也能够高精度地测量CD （CD）、线宽和其他参数。
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