二手 LEITZ Ergolux #104835 待售
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LEITZ Ergolux掩模和晶片检测设备是一种独一无二的全自动系统,旨在自动检查光掩模和晶片。该单元支持广泛的半导体制造工艺,可用于检测多层和多步元件。该机包括一个能够获取微米精度读数的高精度三维轮廓测量级和一个用于棱镜对准的高分辨率显微镜。Ergolux工具支持两种不同的掩码和晶圆检查模式。第一种模式----自动掩码检查----包括使用一系列图像处理和模式识别技术对光掩码进行一系列检查。这包括检查层间对齐的准确性、评估图桉的均匀性以及检查蒙版图桉的形状和大小。第二种模式--自动晶片检测--使用与掩模检测模式相同的一组图像处理和模式识别技术,但也包括晶片层的高级深度测量。高精度、三维轮廓测量阶段能够获取微米精度读数,快速获取高分辨率图像和精确的3D轮廓。此外,LEITZ Ergolux资产还配备了强大的图像处理算法,从而能够快速可靠地检查几乎任何形状或大小的高复杂性模式。该模型包括三个主要组件:直观且易于使用的图形用户界面(GUI)、强大的检查引擎和用于在需要时进行手动干预的高分辨率显微镜。检查引擎利用预测算法和人工智能(AI)来分析扫描仪捕获的图像的错误、缺陷或其他有问题的模式。借助显微镜,人工检查和调整也可以快速轻松地完成。Ergolux设备是寻求自动化、高精度掩模和晶圆检测系统的半导体制造商的理想解决方桉。该装置可用于加快生产时间,减少周期时间,确保可靠、高质量的效果。此外,这台机器是高度可配置的,可以根据每个制造商的具体流程和要求进行定制。
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