二手 LEITZ Ergolux #131146 待售

LEITZ Ergolux是掩模和晶圆检测系统的领导者。该设备设计用于对掩模和晶片进行精确、高通量的检查,检查其缺陷,包括颗粒、划痕、粗糙和小特征。该系统具有先进的扫描算法,可提高检查精度和速度,以及用于精细结构成像的高分辨率成像,如接触孔、开口和通风孔。该单元使用单个光敏成像头来降低复杂性并确保最佳性能。成像头配有分段线性光电二极管传感器阵列，可调光学视场高达100mm以上。这使机器能够同时扫描高分辨率图像并快速搜索大面积区域。该工具配备了10轴运动控制资产,可增强模型的超精细运动能力。运动控制设备与扫描激光系统集成在一起，以捕捉高质量的图像，并快速准确地提取关键信息。该单元还配备了智能缺陷检测（IDD）机，利用先进的模式匹配算法，准确识别特征和潜在缺陷。该工具还具有高级故障分析功能,允许用户快速调查可疑缺陷。Ergolux也是开放平台资产。它使用LEITZ工具包进行编程,使用户能够灵活地开发和定制适合其特定流程需求的检查协议。集成软件还具有强大的图形用户界面，可用于配置模型、创建和管理作业、开发缺陷检测策略以及查看详细检查结果。LEITZ Ergolux提供卓越的吞吐量,每小时高达120个晶圆,高缺陷检测率高达97%。该设备提供可靠、准确的性能,是任何检查应用的绝佳选择。