二手 LEITZ Ergolux #193173 待售

用于半导体成像的LEITZ Ergolux掩模和晶片检测设备是一个独特的系统，为硅片和掩模的检测提供业界领先的准确性和效率。该单元利用独特的机器人成像平台，集成了先进的视觉和计量能力。Ergolux机器的设计旨在提供一个有效的、无损的成像环境,从而减少晶圆和掩模损坏的可能性以及传统检查方法所花费的时间和资源。LEITZ Ergolux设计为操作友好,包括用于快速设置参数和配置的直观用户界面。自动化工具控制（ASC）软件提供了编程工具,可方便地设置自动测量周期,并具有用户友好的图形编程元素。利用集成的视觉和计量系统,操作员可以快速定义和调整测量模式,并且结合广泛的测量结果提取能力,可以放心地对晶圆和掩模进行全面的无损故障分析。Ergolux包含高级立体视觉功能，如多轴扫描、缩放、平移、倾斜、扫描甲板旋转、扫描区域投影和图像对齐校正。多轴图像扫描消除了传统手动或扫描仪检查中常见的运动伪影,并允许在不同的晶圆和掩模几何形状上进行更严格、准确的测量。缩放和平移功能允许捕获和检查较大的图像,从而在缺陷分析中提供更详细的信息。LEITZ Ergolux平台上的光学显微镜提供了对图像中已经识别出的任何潜在缺陷或异常的深入分析。显微镜还具有可更换的物镜，进一步协助操作员识别大规模集成电路中的抵抗图像失真、断线或短路等复杂缺陷。此外，显微镜可用于检查晶片或掩模的正面和背面，以便进一步进行故障分析。此外,Ergolux还包括一个自动无损晶片应力分析仪,该分析仪用于在检查过程中测量任何晶片或掩模的应变水平。NDSSA是一种非接触式资产,它使用HPS™高精度传感器来映射晶圆或掩模表面的应力。此应力分析测量可用于检测晶片或掩模中的小变化,并提供晶片或掩模的全面概述以确保无缺陷制造。LEITZ Ergolux是一种创新的成像模型，非常适合半导体成像应用。先进的成像功能、自动晶片应力分析和直观的用户界面可提供高效、准确的检查结果,满足最苛刻的工艺要求。Ergolux设备专为苛刻的生产环境而设计，将为半导体检测过程提供可靠的结果。