二手 LEITZ MPV-CD2 #293749265 待售

LEITZ MPV-CD2
製造商
LEITZ
模型
MPV-CD2
ID: 293749265
晶圆大小: 6"
Line width measuring system, 6".
LEITZ MPV-CD2是一种基于显微镜的掩模和晶片检查设备,用于1X和5X步进器和扫描仪。该系统由三个光学元件组成:干涉显微镜、图像检测器和微米头。干涉显微镜用于在检查过程中捕获掩模和晶片的图像。它有一个数值光圈为0.34的物镜和一个1/2 ″传感器。它也有数位焦点锁,允许不论掩模或晶圆运动的连续焦点。图像检测器是具有2,048 x 2,048像素和12位数字化的带电耦合设备(CCD)。它能够从3 µm的视场中产生完整的25 µm图像。它还具有高达10,000倍的可变增益以最大化图像细节。微米头在检查过程中用于精确定位。它安装在四轴旋转台上,精度为25 µm,确保每次检查100%精度。MPV-CD2还配备了多种用户友好功能。它包括允许与第三方应用直接通信的接口;一个过程监测单位,记录每次检查的结果;以及一个干涉红光保护机器,以确保最大的图像质量。LEITZ MPV-CD2既易用又高精度,是掩模和晶圆检测的理想解决方桉。从小到大的图像缺陷,MPV-CD2的特点为用户提供了每一次检查都准确可靠的信心。
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