二手 MATSUSHITA M515-III #9361954 待售
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MATSUSHITA M515-III是为基板的高速和高精度计量而设计的掩模和晶圆检测设备。它为半导体器件探头和其他半导体相关器件提供了全面的测量解决方桉。M515-III配备了先进的光学成像系统,具有高分辨率成像和自动测量功能。该单元将目标聚焦机与电动级和示波器集成在一起,精确测量各种计量参数。它还包括一个遥控单元,用于自动测量掩模图样和晶圆布局扫描。MATSUSHITA M515-III的成像能力包括高分辨率、远场/近场成像、多种对比度和亮度控制算法、颜色检测、自动缺陷检测以及VCR/胶片模拟以进行追溯。该工具还可以高速和精确地测量晶片和掩模的计量数据。M515-III的嵌入式机器人技术可实现精确的单/重复测量和自动晶圆映射。它支持单通道和双通道系统,支持自动模式放置和晶圆图像,并增强了假特征检测功能。MATSUSHITA M515-III带有智能特征分析,可生成确定性输出测量值以及统计数据。它还可以进行光学过程控制、光学晶片监控、迭加配准和模具识别。再者,它具有较大的存储器容量、低噪声放大器技术和先进的分辨率光学器件,光学景深可达9.5 µm。M515-III是市场上最先进、最先进的面膜和晶圆检验系统之一。它为用户提供了极致的控制、精度和测量性能。先进的机器人技术、智能特征分析、高分辨率成像和扩展的内存容量等功能使MATSUSHITA M515-III一种理想的解决方桉,可满足高容量任务以及对精度和准确性的需求。
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