二手 MATSUSHITA M777 #9329275 待售
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MATSUSHITA M777 Mask&Wafer Inspection Equipment是一种高精度的光机械计量仪器,专为检查半导体晶圆和光掩模而设计。它使用半英寸的远心镜头对目标样本进行成像,分辨率为1微米或更高。样品表面的图像以多个离轴放大倍数拍摄,从而能够进行全面的表面检查和分析。M777采用多种光学成像技术来执行其检查过程,如激光干涉测量、消色差成像和相位测量。这允许对晶片表面进行高分辨率分析,从而能够精确测量特征大小、表面特征和颗粒污染。该系统配备了一个自给自足的自校准单元,可以让测得的结果重复性超过10纳米。该机器具有晶圆映射功能,允许在晶圆检查过程中跟踪晶圆。此外,可以将缺陷数据库编程到MATSUSHITA M 777中,以跟踪缺陷区域,以便以后进行审查和鉴定。该工具能够捕获极其精细的表面细节,例如芯片拓扑和特征放置,以及太小而无法在显微镜中解析的特征。这使得能够分析分辨率小于一纳米的高精度晶圆结构。M777资产还设计了安全功能,以保护用户和仪器本身。它具有ESD保护的内部环境和内置的反射/非反射门设计,以防止光线离开检查区域。它还具有专用的冷却电路,在操作过程中可防止模型过热。MATSUSHITA M777设备是一种用于检查半导体晶片和掩模的真正出色的计量仪器。它的光学成像技术允许在表面分析中获得最高的精确度,其内置的安全功能在运行过程中提供了更强的保护。M777 Mask&Wafer Inspection System凭借其易用性和卓越的性能,是先进半导体计量的绝佳选择。
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