二手 MCVAC MCM-160 #9266954 待售

MCVAC MCM-160 Mask and Wafer Inspection设备是一种先进的成像和检查设备,为半导体晶圆制造中使用的晶圆和Mask提供高分辨率成像。MCM-160是一个多合一系统,包括晶圆扫描功能和掩码检查功能。MCVAC MCM-160利用新的透镜阵列技术获取晶圆或掩模上每个图样的微观图像。该装置可以检查晶圆基板和直径不超过200毫米的口罩上的缺陷和与基板相关的特征。MCM-160具有用于成像晶片的500万像素CCD传感器。CCD传感器的视场为2.5 × 38 × 2.5毫米，并且可以在单个晶片的活动区域内扫描9mm宽的视场，分辨率高达5µm。CCD传感器可配置为在不同方向和方向进行扫描,以捕获晶圆上的垂直和横向特征。这样就能够精确地成像晶圆上的细微细节，使MCVAC MCM-160一个特别适合检测针孔、小氧化物特征、小接触/通过异常、小颗粒和细线分解到5 µm的检测机器。MCM-160还具有口罩检查功能,可用于检查直径不超过200毫米的口罩。该工具配有一个4百万像素滤镜阵列CCD和一个可调聚焦透镜，可协同工作以获取面罩上每个图桉的微观图像。该资产能够检测到低于6 µm分辨率的断线、短裤和污染等缺陷。模型还具有特征检测功能,可用于检测可能影响掩码质量的线端或阵列位置差异。除了高分辨率图像采集外，MCVAC MCM-160还可以执行晶圆对准和临界尺寸测量。设备配备了自动对准功能，能够精确定位晶片，并将系统对准晶片的成像方向。这样可以确保设备正确捕获晶片上的特征。MCM-160还具有临界尺寸分析特征，可以准确测量特征边缘和直径尺寸。总体而言，MCVAC MCM-160掩模和晶片检测机是一种先进的成像和检查设备，提供高分辨率的晶片和掩模成像。该工具具有晶片扫描和掩码检查功能,能够精确检测晶片或掩码上的缺陷和基板相关特征。它还能够执行晶圆对准和临界尺寸测量。