二手 MICRO ENGINEERING LM 320 #9123344 待售
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MICRO ENGINEERING LM 320是为服务半导体行业而设计的自动化光学检查设备。该系统有助于对高速、高通量、高精度的微电子和光电器件进行高效、准确的晶圆检测。LM 320支持晶圆尺寸可达8英寸。该单元采用激光自动聚焦机,可快速精确地聚焦晶圆表面。该工具可以通过集成的单通道和双通道激光对准子系统检查设备级的缺陷。激光子系统的集成,提高了检测开路保险丝/短、颗粒污染、微裂纹、图像不规则等各种缺陷的效率。此外,该资产为检测非扁平形状的缺陷提供了三维检测能力。该模型能够通过使用先进的软件算法来检测高度先进的晶片,如内存设备和图像传感器,从而能够观察到晶片的光学特性。此外,集成的图像处理工具还提供有关各种功能(如焦点、对比度、缺陷大小和缺陷特征)的信息。这有助于操作员区分真实缺陷和人工制品或错误警报。设备支持缺陷分类、命中、返工、双图样等先进检测模式。此外,系统可以执行自动生产检查以减少停机时间。利用分级、缺陷列表管理和产量分析等功能,该单元可帮助操作员快速识别和解决产量问题。最后,MICRO ENGINEERING LM 320配备了符合人体工程学设计的工作站,可确保用户舒适性,同时便于与机器进行交互。
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