二手 MIT Linearflex 822 #9234972 待售
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MIT Linearflex 822是一种掩模和晶圆检测设备,设计用于提供集成电路(IC)的自动化、无损评估。该系统由光学和扫描电子显微镜(SEM)组合而成,以及自动化检查过程的高级软件工具。光学单元包括一个底部照明物镜,提供晶圆表面的清晰、实时的图像捕捉。利用扫描电子显微镜(SEM),可以在非常高的细节水平上对亚微米特征进行成像。高分辨率图像可以作为相控阵成像在多个通道中捕获,从而可以检查IC的表面和地下特征。Linearflex 822还包括强大的图像分析功能,能够在IC设计和制造过程的各个阶段自动检查晶圆。先进的图像处理算法能够识别宏观和微观层面的缺陷,包括粒子和粒子簇、结核、凹坑、划痕和其他污染。此外,该机还包括一套晶圆检测工具,用于全面检测各种平版印刷误差。该套件与一系列行业标准的光刻工艺兼容,包括步进扫描(i-line stepper或DUV scanner)、双图桉和光掩模处理。该软件还能够检测异物和晶圆剥落或翘曲。结合图像捕捉系统,自动检查软件对IC布局和流程进行全面筛选和测量。它可以用来检测过程故障,定位污染源,帮助优化过程性能。集成工具软件旨在最大程度地减少停机时间并优化性能。该软件具有很高的可扩展性,可以进行编程以启用晶圆测试和修复过程。它能够使用来自硬件的高速数据流处理大型数据集。MIT Linearflex 822是一种先进的掩模和晶圆检测资产,旨在简化IC生产并提高吞吐量。它将高分辨率成像与先进的软件工具结合在一起,在宏观和微观层面上提供可靠、自动化的IC检查。凭借强大的设计和全面的工具,该模型非常适合IC设计和制造应用。
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